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华海清科:12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货 天天微头条

2023-05-21 16:44:27 第一财经


【资料图】

华海清科公告,近日,公司新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业。12英寸超精密晶圆减薄机是业内首次实现12英寸晶圆超精密磨削和CMP全局平坦化的有机整合集成设备,Versatile-GP300量产机台可稳定实现12英寸晶圆片内磨削总厚度变化<1um和减薄工艺全过程的稳定可控。Versatile-GP300量产机台进入大生产线,标志着其性能获得客户认可,填补了国内芯片装备行业在超精密减薄技术领域的空白。同时随着先进封装、Chiplet等技术的应用将大幅提升市场对减薄设备的需求,本次12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货,将有助于巩固和提升公司的核心竞争力,对公司未来的发展将产生积极的影响。

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